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日立阅读自动化体视显微镜S-3400N型的特色 |
| 1. S-3400N兼具力量强大的自主功能键,涉及到自主灯丝饱合、4偏压、自主枪对中、自主束流控制、自主合轴自主焦聚和消像散、自主透明度进行亮度对比度等。 |
| 2. 在3kV低加快速度线电压时保证质量有10nm的判定率。 |
| 3. 新型的4分割高灵敏度半导体芯片式背散射探测器。 |
| 4. S-3400N II型更具五轴联动电动马达台,倾角视场角高达-20度~+九十度,原材料zui高高达80mm。 |
| 5. 定量分析样板仓都可以同時的安装EDX , WDX 及EBSD。 |
| 6. 真空室程序施用锅轮分子式泵,超净、效率高。 |
日立扫苗手机体视显微镜S-3400N型的新技术招生指标:
建设项目 | 介绍 |
SE粪便率 | 3.0nm (30kV),高真空室系统格局 / 10nm (3kV), 高真空室系统格局 |
BSE区分率 | 4.0nm (30kV),低涡流状态 |
| 提高电阻值 | 0.3 ~ 30 kV |
| 低真空泵比率 | 6 ~ 270 Pa |
| 极大样品英文图片尺寸 | 网套直径200mm |
| 备样台 | I型 II型 |
| X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
| R | 360o 360o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| 上限印刷品位置 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
| 驱动器类型的 | 全自动 车铣复合步进马达驱动软件 |
| 灯丝 | 预对中钨灯丝 |
| 物镜光栏 | 可中一体式4孔物镜光栏 |
| 枪偏压 | 比较固定标准偏压、半自动改手动偏压和半自动4偏 |
| 查重器 | 分批電子器件检查测量器 高精确度度半导背散射電子器件检查测量器 |
| 探讨部位 | WD=10mm, TOA=35o |
| 把握 | 游戏鼠标、手机键盘,自动旋纽 |
| 全自动调校 | 重新灯丝饱和状态、重新4偏压、重新枪对中、重新束流人设、重新合轴、重新对焦 消像散、重新比度比度 |
日立扫面智能显微镜S-3400N扫面画面:

